Turbopumps e sistemi di pompaggio magneticamente levitati CXF-250/2301E

Pompa Maglev, CXF-250 / 2301E, raffreddamento ad acqua, a bordo

Le pompe molecolari a levitazione magnetica sono le pompe di cui l'albero è supportato in virtù della forza magnetica.

Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono apparecchiature di generazione del vuoto sviluppate da KYKY per soddisfare i requisiti delle applicazioni nei settori della produzione moderna di semiconduttori, produzione di chip, placcatura industriale e strumenti scientifici.

tecnologie:

• Tecnologia di controllo per cuscinetti magnetici: levitazione magnetica a 5 assi, basata su una teoria di controllo internazionale avanzata, per garantire tali vantaggi significativi della trasmissione ad alta velocità come operazioni stabili e affidabili.
• Tecnologia di controllo della trasmissione del motore: motore CC ad alta velocità e servocomando ad alta efficienza, che ha la massima energia del motore e compensa automaticamente la velocità di rotazione dell'albero, realizzando così un avviamento stabile, un funzionamento affidabile e una funzione di regolazione automatica dell'energia dinamica .
• Tecnologia del rotore composito in fibra di carbonio: realizzata combinando lega di alluminio ad alta resistenza e fibra di carbonio leggera. caratterizzato da una grande riduzione di peso e da un notevole miglioramento della forza, in modo tale da raggiungere obiettivi di elevata velocità di rotazione, alte prestazioni e alta affidabilità.
• Tecnologia resistente alla corrosione: le superfici delle parti delle camere vengono trattate con un processo speciale, in modo che le superfici possano resistere per lungo tempo alla corrosione causata dai gas corrosivi nei processi di fabbricazione dei semiconduttori. Inoltre, i gas inerti come N2 sono completamente riempiti nell'inverter delle pompe per proteggere le parti a basso vuoto nelle pompe, in modo tale che si realizzi la funzione di gas corrosivi che esauriscono stabilmente per lunghi periodi.
• Sistema di controllo della temperatura di riscaldamento: dotato di un riscaldatore elettrico e un regolatore di temperatura, acqua di raffreddamento, riscaldamento osseo, riscaldamento elettrico e calore trasportato dai gas di protezione possono essere monitorati e controllati durante il funzionamento, la temperatura delle pompe può essere mantenuta ad un valore per a lungo termine, alcune sostanze gassose non vengono convertite in sostanze solide a temperatura normale e non vengono depositate nelle pompe e possono essere soddisfatti i requisiti per processi speciali come quelli di incisione.

applicazioni:

Le pompe molecolari a levitazione magnetica serie vengono applicate principalmente ai settori della produzione di semiconduttori, produzione di clip, placcatura industriale e strumenti scientifici, in particolare all'estrazione di gas corrosivi esistenti in etch, CVD, PVD e impianti ionici e gas facilmente coagulati a temperatura normale.

specifiche tecniche: