Dettagli:
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Flangia: | CF100 | velocità di pompaggio: | 65L/s aria, 0.6L/s AR |
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Ultima pressione: | PA 7E-8 | Velocità di lavoro: | +7KV |
Evidenziare: | farfugli la pompa di ione,pompa di ione dello starcell |
Pompa ionica, 2L-50, DN100CF, aria da 65L / s, 0,6 L / s Ar, + 7KV
La pompa Sputter-ion è un'apparecchiatura di generazione del vuoto per ottenere un vuoto pulito e ultra-alto.
La pompa dello sputter-ion è la pompa principale di un set di vuoto ad altissimo livello.
La pompa ionica funziona in un sistema chiuso che non richiede una pompa di supporto continuo.
vantaggi:
1. Grado di alto vuoto
2. Vibrazione zero
3. Zero rumore
4. Pulizia
5. Conveniente per operare
applicazioni:
1. Acceleratore di particelle ad alta energia
2. Apparecchi a reazione termonucleare controllata
3. Dispositivo per vuoto elettrico
4. Materiale semiconduttore
5. Microscopio elettronico
6. Spettrometro di massa
Principio:
Il materiale dell'anodo è il barilotto dell'acciaio inossidabile e il materiale del piatto di istitanium del cathode. Il processo di scarico del penning ionizza il gas sotto l'azione congiunta del campo magnetico e del campo elettrico, realizzando così l'esaurimento del gas.
specifiche tecniche:
Modello | 2L-50 | |||
Flangia | DN100CF | |||
Velocità di pompaggio (L / S) | ( aria) | 65 | ||
Velocità di pompaggio | (Ar) | 0.6 | ||
Pressione di avvio (Pa) | ≤5 × 10 -4 | |||
pressione finale (Pa) | 7 × 10 -8 | |||
(℃) temperatura di cottura | <200 | |||
Con magnetico | ||||
Senza magnetico | <300 | |||
tensione di lavoro (KV) | 7 | |||
elettrodo | 2 | |||
dimensione (mm) | 90 × 90 (4-M6) | |||
L * W * H (mm) | 290 × 120 × 299 | |||
(kg) peso | 22 |
Persona di contatto: sales
Telefono: +8613810212935