Dettagli:
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Flangia: | DN100CF | velocità di pompaggio: | aria 55L/s |
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Ultima pressione: | PA 7E-8 | tensione: | -5KV |
Evidenziare: | pompa di ione varian,pompa di ione dello starcell |
Pompa ionica, 3L-50, DN100CF, aria 55L / s, 12L / s Ar, -5KV
La pompa Sputter-ion è un'apparecchiatura di generazione del vuoto per ottenere un vuoto pulito e ultra-alto.
La pompa dello sputter-ion è la pompa principale di un set di vuoto ad altissimo livello.
La pompa ionica funziona in un sistema chiuso che non richiede una pompa di supporto continuo.
Principio:
Il materiale dell'anodo è il barilotto dell'acciaio inossidabile e il materiale del piatto di istitanium del cathode. Il processo di scarico del penning ionizza il gas sotto l'azione congiunta del campo magnetico e del campo elettrico, realizzando così l'esaurimento del gas.
La pompa ionica Triode è migliorata per aumentare la velocità di pompaggio del gas inerte; Gli ioni di gas inerte sono sottoposti a un'incidenza radente nella griglia di titanio del catodo, quindi neutralizzati e riflessi sulla parete della pompa e sull'anodo per essere seppelliti con il film di titanio. Poiché il gas inerte sepolto nella parete della pompa non verrà rilasciato a causa del bombardamento ionico positivo, la velocità di pompaggio del gas inerte aumenta.
vantaggi:
1. Grado di alto vuoto
2. Vibrazione zero
3. Zero rumore
4. Pulizia
5. Conveniente per operare
applicazioni:
Può essere applicato a apparati di esperimenti scientifici come acceleratore di particelle ad alta energia, apparato di reazione termonucleare controllata, dispositivo di vuoto elettrico, materiale semiconduttore, microscopio elettronico e spettrometro di massa, e altre apparecchiature industriali che richiedono il vuoto ultra-alto.
specifiche tecniche:
Modello | 3L-50 | ||
Flangia | DN100CF | ||
Velocità di pompaggio (L / S) | ( aria) | 55 | |
Velocità di pompaggio | (Ar) | 12 | |
Pressione di avvio (Pa) | ≤5 × 10 -4 | ||
pressione finale (Pa) | 7 × 10 -8 | ||
(℃) temperatura di cottura | <200 | ||
Con magnetico | |||
Senza magnetico | <300 | ||
tensione di lavoro (KV) | -5 | ||
elettrodo | 2 | ||
dimensione (mm) | 90 × 90 (4-M6) | ||
L * W * H (mm) | 290 × 120 × 299 | ||
(kg) peso | 22 |
Persona di contatto: sales
Telefono: +8613810212935