Dettagli:
Termini di pagamento e spedizione:
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Lubrificazione: | Maglev | Flangia: | ISO-K/CF |
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raffreddamento: | Acqua | Velocità di pompaggio: | N2 2300L/s |
Evidenziare: | pompe molecolari di turbo,pulsometro turbomolecular |
Pompa Maglev, CXF-250/2300, ISO-K / CF, raffreddamento ad acqua, controller esterno
Le pompe molecolari a levitazione magnetica sono le pompe di cui l'albero è supportato in virtù della forza magnetica, soddisfacendo i requisiti applicativi per i campi della moderna produzione di semiconduttori, produzione di chip, placcatura industriale e strumenti scientifici.
tecnologie:
I vantaggi:
Queste pompe hanno vantaggi, come l'attrito Zero durante il funzionamento, e basso consumo energetico, facile da acquisire aspirapolvere molto pulito e ultra-alto vuoto senza lubrificazione per le pompe, in grado di estrarre gas corrosivi a lungo termine, alta sicurezza e lunga durata grazie alla protezione di cuscinetti con sfere in ceramica di precisione e funzione di generazione di energia in caso di spegnimento improvviso. Ha vantaggi come assenza di attriti, inquinamento e manutenzione e con basse vibrazioni e può essere installato in qualsiasi orientamento.
applicazioni:
Estrazione di gas corrosivi esistenti in etch, CVD, PVD e impianti ionici e gas facilmente coagulati a temperatura normale nei settori della produzione di semiconduttori, produzione di clip, placcatura industriale e strumenti scientifici.
Specifica:
Flangia (A) | DN250 CF / ISO-K, ISO-F |
Flangia (fuori) KF | DN40 |
Velocità di pompaggio (L / s) | N 2 : 2300 |
Ar: 2250 | |
Lui: 1900 | |
H 2 : 850 | |
Rapporto di compressione | N 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Lui: 10 4 | |
H 2 : 10 3 | |
Pressione finale (Pa) | CF: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Max. Pressione del vuoto precedente continua (Pa) | 60 |
Max. Pressione del vuoto precedente | N 2 : 250 |
Gas in tutto (sccm) | N 2 : 3600 |
Ar: 1400 | |
Lui: 2800 | |
H 2 : 2100 | |
Velocità di rotazione (giri / min) | 27000 |
Tempo di accelerazione (min) | ≤11 |
Tipo di raffreddamento, standard | acqua |
Consumo di acqua di raffreddamento (L / min) | 1 |
Temperatura dell'acqua di raffreddamento (℃) | 20 |
Connessione elettrica: tensione (V AC) | 220 |
Modello di controller | CXF-2300 |
Peso (kg) | 59 (ISO-K / F) 62 (CF) |
Persona di contatto: sales
Telefono: +8613810212935