Vibrazione bassa magneticamente levitata CXF-320/3000E del pulsometro di Turbomolecular

Pompa Maglev, CXF-320 / 3000E, raffreddamento Waterr, ISO-F, controller esterno

Le pompe molecolari a levitazione magnetica sono le pompe di cui l'albero è supportato in virtù della forza magnetica.

Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono apparecchiature di generazione del vuoto sviluppate da KYKY per soddisfare i requisiti delle applicazioni nei settori della produzione moderna di semiconduttori, produzione di chip, placcatura industriale e strumenti scientifici.

Il cuscinetto elettromagnetico è anche chiamato "orsi levitante magnetici attivi", costituito da un cuscinetto magnetico, un sensore e un sistema di controllo. Questo design ha risposta dinamica e regolazione tempestiva, la trasmissione ad alta velocità e il funzionamento affidabile.

I vantaggi:

1. Zero attrito durante il funzionamento e basso consumo energetico

2. Facile da ottenere aspirapolvere estremamente pulito e ultra-alto senza lubrificazione per le pompe

3. In grado di estrarre gas corrosivi a lungo termine

4. Elevata sicurezza e lunga durata grazie alla protezione dei cuscinetti con sfere ceramiche di precisione

5. funzione di generazione di energia in caso di spegnimento improvviso

6. Libero da attriti

7. Libero da inquinamento

8. Esente da manutenzione

9. Vibrazione bassa

10. installato in qualsiasi orientamento.

tecnologie:

• Tecnologia di controllo per cuscinetti magnetici: levitazione magnetica a 5 assi. Questo design può avere risposta dinamica e regolazione tempestiva mediante tecnologia di controllo a sospensione magnetica attiva a circuito chiuso dinamica basata su una teoria di controllo internazionale avanzata, in modo da garantire tali vantaggi significativi della trasmissione ad alta velocità come funzionamento stabile levitato e affidabile.
• Tecnologia di controllo della trasmissione del motore: Il motore CC ad alta velocità ad alta efficienza e il sistema di controllo servo sono applicati alle pompe a levitazione magnetica serie, in modo da avere la massima energia del motore e compensare automaticamente la velocità di rotazione dell'albero, realizzando così un avviamento stabile, funzionamento affidabile e funzione di regolazione automatica dell'energia dinamica.
• Tecnologia del rotore composito in fibra di carbonio: i rotori turbo delle pompe molecolari a sospensione magnetica seriale sono realizzati combinando lega di alluminio ad alta resistenza e fibra di carbonio leggera. Rispetto a tutti i rotori in lega di alluminio, i rotori del turbo sono caratterizzati da una notevole riduzione di peso e da un notevole miglioramento della resistenza, in modo da raggiungere obiettivi di elevata velocità di rotazione, alte prestazioni e alta affidabilità.
• Tecnologia di resistenza alla corrosione: le superfici delle parti delle camere delle pompe molecolari a sospensione magnetica seriale sono trattate con un processo speciale, in modo che le superfici possano resistere per lungo tempo alla corrosione causata dai gas corrosivi nei processi di produzione dei semiconduttori. Inoltre, tali gas inerti come N2 sono completamente riempiti nell'associazione delle pompe per proteggere le parti a basso vuoto nelle pompe, in modo tale che si realizzi la funzione di gas corrosivi che si esauriscono stabilmente per lunghi periodi.
• Sistema di controllo della temperatura di riscaldamento: le pompe molecolari a levitazione magnetica serie sono dotate di un riscaldatore elettrico e un regolatore di temperatura, in modo che l'acqua di raffreddamento, il riscaldamento dell'aria, il riscaldamento elettrico e il calore trasportati dai gas di protezione possano essere monitorati e controllati durante il funzionamento, le pompe possono essere mantenute ad un certo valore a lungo termine, alcune sostanze gassose non vengono convertite in sostanze solide a temperatura normale e non vengono depositate nelle pompe, e possono essere soddisfatti i requisiti per processi speciali come quelli di incisione.

specifiche tecniche:

applicazioni:

Le pompe molecolari a levitazione magnetica serie vengono applicate principalmente ai settori della produzione di semiconduttori, produzione di clip, placcatura industriale e strumenti scientifici, in particolare all'estrazione di gas corrosivi esistenti in etch, CVD, PVD e impianti ionici e gas facilmente coagulati a temperatura normale.