Dettagli:
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Flangia: | ISO-K/CF63 | Raffreddamento: | Acqua |
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Velocità di pompaggio: | N2 63L/s | Ultima pressione: | CF: 5E-6, ISO-K: 3E-5 |
Evidenziare: | pulsometro turbomolecular,pulsometro di turbo |
Turbo Molecular Pump, FF-63 / 80E, raffreddamento Wate, lubrificazione a grasso, strumentale
Le pompe molecolari serie per strumenti sviluppati da KYKY per l'industria degli strumenti sono tipi compatti ad alte prestazioni. Può perfettamente rispondere alle esigenze più impegnative nel campo degli strumenti; a causa di una maggiore velocità di rotazione e di una struttura di estrazione più ottimale, è compatibile con più pompe di supporto e ha una maggiore capacità di pompaggio per i gas molecolari di piccole dimensioni.
vantaggi:
1. Struttura compatta per l'integrazione del sistema
2. Progettazione del modulo per più selezioni
3. Tolleranza di pressione anteriore più elevata
4. Qualsiasi posizione di montaggio
5. Velocità di rotazione regolabile
applicazioni:
Le pompe molecolari serie per strumenti sono scelte adeguate per apparecchiature di generazione ad alto vuoto in campi di spettrometria di massa, analisi di superficie e altre ricerche scientifiche. Le pompe molecolari resistenti alla corrosione per strumenti possono essere applicate ai processi che coinvolgono i gas corrosivi, come nelle industrie dei film di rivestimento e di incisione.
Specifictions:
Flangia (A) | ISO-K / CF63 |
Flangia (fuori) KF | DN16 |
Velocità di pompaggio (L / s) | N 2 : 62 |
Lui: 55 | |
H 2 : 34 | |
Ar: 65 | |
Rapporto di compressione | N 2 : 10 9 |
Lui: 10 5 | |
H 2 : 10 4 | |
Ar: 10 9 | |
Pressione finale (Pa) | CF: 5 × 10 -6 |
ISO-K: 3 × 10 -5 | |
Max. Pressione del vuoto precedente continua (Pa) | 500 |
Max. Pressione del vuoto precedente | N 2 : 1500 |
Gas in tutto (sccm) | N 2 : 35 |
Lui: 30 | |
H 2 : 19 | |
Ar: 38 | |
Velocità di rotazione (giri / min) | 72000 |
Tempo di accelerazione (min) | ≤2 |
Tipo di raffreddamento, standard | acqua |
Consumo di acqua di raffreddamento (L / min) | 1 |
Temperatura dell'acqua di raffreddamento (℃) | ≤25 |
Connessione elettrica: tensione (V AC) | DC24 / AC220 |
Consumo massimo di potenza (W) | 90 |
Modello di controller | TD-80 / TCP-100 / TC-100 |
Persona di contatto: sales
Telefono: +8613810212935