Il triodo di -5KV farfuglia l'acciaio inossidabile dello ione della pompa che aumenta il tasso di pompaggio di gas inerte

Pompa ionica, 3L-25, DN35CF, 21L / s Air, 6L / s Ar, -5KV, 7E-8Pa

La pompa Sputter-ion è un'apparecchiatura di generazione del vuoto per ottenere un vuoto pulito e ultra-alto.

La pompa dello sputter-ion è la pompa principale di un set di vuoto ad altissimo livello.

La pompa ionica funziona in un sistema chiuso che non richiede una pompa di supporto continuo.

Principio:

Il materiale dell'anodo è il barilotto dell'acciaio inossidabile e il materiale del piatto di istitanium del cathode. Il processo di scarico del penning ionizza il gas sotto l'azione congiunta del campo magnetico e del campo elettrico, realizzando così l'esaurimento del gas.

La pompa ionica Triode è migliorata per aumentare la velocità di pompaggio del gas inerte; Gli ioni di gas inerte sono sottoposti a un'incidenza radente nella griglia di titanio del catodo, quindi neutralizzati e riflessi sulla parete della pompa e sull'anodo per essere seppelliti con il film di titanio. Poiché il gas inerte sepolto nella parete della pompa non verrà rilasciato a causa del bombardamento ionico positivo, la velocità di pompaggio del gas inerte aumenta.

vantaggi:

Questa serie di pompe presenta vantaggi come pulizia, alto grado di vuoto, zero rumore, zero vibrazioni e praticità d'uso.

applicazioni:

Le applicazioni principali sono gli apparati scientifici sperimentali nel campo dell'acceleratore di particelle ad alta energia, dell'apparato di reazione termonucleare controllato, del dispositivo di vuoto elettrico, del materiale semiconduttore, del microscopio elettronico e dello spettrometro di massa e di altre apparecchiature industriali che richiedono il vuoto ultra alto.

specifiche tecniche: