CE di pressione di PA della flangia 7E-8 di KYKY Ion Vacuum Pump DN150CF l'ultimo ha approvato

Pompa ionica, 3L-100, DN150CF, aria 110L / s, 24L / s Ar, -5KV, 2,7E-8Pa

La pompa Sputter-ion è un'apparecchiatura di generazione del vuoto per ottenere un vuoto pulito e ultra-alto. La pompa dello sputter-ion è la pompa principale di un set di vuoto ad altissimo livello. La pompa ionica funziona in un sistema chiuso che non richiede una pompa di supporto continuo.

Principio:

Il materiale dell'anodo è il barilotto dell'acciaio inossidabile e il materiale del piatto di istitanium del cathode. Il processo di scarico del penning ionizza il gas sotto l'azione congiunta del campo magnetico e del campo elettrico, realizzando così l'esaurimento del gas.

La pompa ionica Triode è migliorata per aumentare la velocità di pompaggio del gas inerte; Gli ioni di gas inerte sono sottoposti a un'incidenza radente nella griglia di titanio del catodo, quindi neutralizzati e riflessi sulla parete della pompa e sull'anodo per essere seppelliti con il film di titanio. Poiché il gas inerte sepolto nella parete della pompa non verrà rilasciato a causa del bombardamento ionico positivo, la velocità di pompaggio del gas inerte aumenta.

vantaggi:

Questa serie di pompe presenta vantaggi come pulizia, alto grado di vuoto, zero rumore, zero vibrazioni e praticità d'uso.

applicazioni:

1. Acceleratore di particelle ad alta energia

2. Apparecchi a reazione termonucleare controllata

3. Dispositivo per vuoto elettrico

4. Materiale semiconduttore

5. Microscopio elettronico

6. Spettrometro di massa

specifiche tecniche: