Dettagli:
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Flangia: | ISO-K/CF DN200 | Raffreddamento: | Acqua |
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Lubrificazione: | Maglev | Velocità di pompaggio: | N2 1400L/s |
Evidenziare: | pompe molecolari di turbo,pulsometro turbomolecular |
Pompa Maglev, CXF-200/1400, Raffreddamento ad acqua, ISO-K / CF, Controller esterno
Le pompe molecolari a levitazione magnetica sono le pompe di cui l'albero è supportato in virtù della forza magnetica.
Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono apparecchiature di generazione del vuoto sviluppate da KYKY per soddisfare i requisiti delle applicazioni nei settori della produzione moderna di semiconduttori, produzione di chip, placcatura industriale e strumenti scientifici.
tecnologie:
I vantaggi:
1. Zero attrito durante il funzionamento e basso consumo energetico
2. Facile da ottenere aspirapolvere estremamente pulito e ultra-alto senza lubrificazione per le pompe
3. In grado di estrarre gas corrosivi a lungo termine
4. Elevata sicurezza e lunga durata grazie alla protezione dei cuscinetti con sfere ceramiche di precisione
5. funzione di generazione di energia in caso di spegnimento improvviso
6. Libero da attriti
7. Libero da inquinamento
8. Esente da manutenzione
9. Vibrazione bassa
10. installato in qualsiasi orientamento.
applicazioni:
Estrazione di gas corrosivi esistenti in etch, CVD, PVD e impianti e gas ionici facilmente coagulati a temperatura normale nei settori della produzione di semiconduttori, produzione di clip, placcatura industriale e strumenti scientifici.
specifiche tecniche:
Flangia (A) | DN200 CF / ISO-K, ISO-F |
Flangia (fuori) KF | DN40 |
Velocità di pompaggio (L / s) | N 2 : 1400 |
Ar: 1360 | |
Lui: 880 | |
H 2 : 560 | |
Rapporto di compressione | N 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Lui: 10 4 | |
H 2 : 10 3 | |
Pressione finale (Pa) | CF: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Max. Pressione del vuoto precedente continua (Pa) | 100 |
Max. Pressione del vuoto precedente | N 2 : 210 |
Gas in tutto (sccm) | N 2 : 2700 |
Ar: 980 | |
Lui: 2000 | |
H 2 : 1800 | |
Velocità di rotazione (giri / min) | 30000 |
Tempo di accelerazione (min) | ≤8 |
Tipo di raffreddamento, standard | acqua |
Consumo di acqua di raffreddamento (L / min) | 1 |
Temperatura dell'acqua di raffreddamento (℃) | 20 |
Connessione elettrica: tensione (V AC) | 220 |
Modello di controller | CXF-1400 |
Peso (kg) | 50 (ISO-K / F) 52 (CF) |
Persona di contatto: sales
Telefono: +8613810212935