Aria 85L/S AR di Varian Ion Pump Convenient Operation 420L/S di alto vuoto

Pompa ionica, 3L-400C, DN150CF, aria 420L / s, 85L / s Ar, -5KV

La pompa Sputter-ion è un'apparecchiatura di generazione del vuoto per ottenere un aspirapolvere pulito e ultra-alto. La pompa ionica funziona in un sistema chiuso che non richiede una pompa a funzionamento continuo.

vantaggi:

Questa serie di pompe presenta vantaggi come pulizia, alto grado di vuoto, zero rumore, zero vibrazioni e praticità d'uso.

applicazioni:

La pompa dello sputter-ion è la pompa principale del set di vuoto ultra-alto meno olio, e può essere applicata a apparecchiature sperimentali scientifiche quali acceleratore di particelle ad alta energia, apparato a reazione termonucleare controllata, dispositivo di vuoto elettrico, materiale semiconduttore, microscopio elettronico e massa spettrometro e altre apparecchiature industriali che richiedono il vuoto ultra-alto.

Principio:

Il materiale dell'anodo è il barilotto dell'acciaio inossidabile e il materiale del piatto di istitanium del cathode. Il processo di scarico del penning ionizza il gas sotto l'azione congiunta del campo magnetico e del campo elettrico, realizzando così l'esaurimento del gas.

La pompa ionica Triode è migliorata per aumentare la velocità di pompaggio del gas inerte; Gli ioni di gas inerte sono sottoposti a un'incidenza radente nella griglia di titanio del catodo, quindi neutralizzati e riflessi sulla parete della pompa e sull'anodo per essere seppelliti con il film di titanio. Poiché il gas inerte sepolto nella parete della pompa non verrà rilasciato a causa del bombardamento ionico positivo, la velocità di pompaggio del gas inerte aumenta.

specifiche tecniche: